1、进样系统：
进样系统的维护和保养极其重要，可以说电感耦合等离子体质谱仪在使用过程中85%的问题都来源于进样系统。进样系统维护部件包括蠕动泵及泵管、同心雾化器、旋流雾室。
蠕动泵可以保证样品以一定流速进入雾化器，并同步将废液排出。蠕动泵长时间转动会导致其固定螺丝发生松动，每隔半年应该对其固定螺丝进行维护，使其松紧适度。泵管在使用时要注意与泵槽平行夹紧，注意进液和排液方向是否正确，松紧程度适当；使用一段时间后如果泵管外形变扁、底部磨损变黑应及时更换。定期更换与泵管相连的毛细进样管，尤其是进入高基体样品后及时更换，防止对洁净样品的测试污染。
雾化器是通过风力运动将液体破碎成微小液滴，形成气溶胶进入雾室。同心雾化器在使用过程中要随时观察其雾化效率，雾化效率低会导致响应值偏低，仪器调谐不通过等问题，正常效率的雾化器雾化效果是可以通过肉眼进行判断的，即雾室维持在灰蒙状态。另外，在做高基体样品过程中随时观察软件上的仪器-诊断-气体流量控制-雾化器背压，数值在40～50附近波动是正常状态，如果数值突然增大，表明雾化器堵塞。
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